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大昌华嘉科学仪器部
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Theta Flow Wafer晶圆接触角测量仪是一款高端的晶圆全自动接触角测量仪器。该仪器包括Theta Flow光学接触角测量仪主机，可配置四个具有软件控制、可水平移动、可抛弃滴液头的自动滴液器，以及带自动旋转的全自动XYZ样品台。
晶圆上的接触角测量对于评估这些材料的润湿性和表面特性至关重要，这些材料广泛应用于电子制造。通过评估液滴与晶片表面接触的角度，研究人员可以深入了解硅的表面能和粘附性能。这些信息对于优化半导体制造中的涂层、光刻和键合等工艺至关重要。了解接触角有助于确保晶片与生产过程中使用的各种材料之间的预期相互作用，*终提高电子设备的性能和可靠性。
应用
• 研究表面清洁度
接触角测量可以评估晶圆的清洁度，从而来评估表面污染物和残留物的去除情况。
• 确定表面自由能
通过测量接触角，可以推断出表面自由能，这对于理解其他材料如何与晶圆相互作用至关重要。
• 了解粘附性能
接触角有助于确定应用于晶圆的涂层和薄膜的粘附性能。
• 研究亲水性/疏水性
测量接触角可以确定晶圆表面是亲水还是疏水，从而影响光刻和蚀刻等工艺。
• 用于质量控制
定期的接触角测量可以作为质量控制过程的一部分，以确保晶圆加工和处理的一致性。
支持晶圆接触角测量的软件功能
• 批量模式，用于对一排多个晶圆进行快速测量。
• 标准座滴法，可进行更深入的分析。
晶圆自动旋转台
Theta系列晶圆样品台是一种由软件控制的电动平台，用于旋转晶圆，以实现直径高达12英寸晶圆的接触角自动定位测量。
Theta系列晶圆样品台包括旋转台（T340R）和晶圆台面（T340RW）。晶圆台面的插销有助于晶圆的高精度对准和定位。定位销还有助于在测量过程中将晶圆保持在适当的位置。为了进一步固定晶圆，还可以通过内置的真空连接口连接到真空泵。
Theta系列晶圆样品台连接到自动XYZ样品台，可以自动定位直径高达12英寸的晶圆。为了**限度地提高旋转台的性能，建议将其与四个可抛弃滴液头滴液器结合使用。这将允许自动进行表面自由能测量，或者在只使用水的情况下增加连续的测量次数。
晶圆接触角测量仪
| 测量参数 | 表面张力，界面张力，接触角，表面自由能 |
| 相机分辨率上限(像素) | 2592*2048(5 MP) |
| 拍照速度上限（FPS） | 3422 |
| 旋转移动范围 | 0-360° |
| **转速 | 180°/s |
| 分辨率 | 0.005° |
| 精度 | ±0.1° |
样品规格
| 适合的样品尺寸 | 2英寸, 3英寸, 4英寸, 5英寸, 6英寸, 8英寸, 12英寸晶圆 |
| **样品重量 | 500g |
其他
| 真空泵连接 | 是 |
| 接触角的自动定位 | 是 |
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企业名称
大昌华嘉科学仪器部企业类型
有限责任公司(外国法人独资)信用代码
9131000060734095X4法人代表
林王珠注册地址
中国（上海）自由贸易试验区巴圣路275号40号楼第一层西部位成立日期
1996-01-11注册资本
1,000万(美元)有效期限
1996-01-11 至 2046-01-10经营范围
许可项目：食品销售；酒类经营；第三类医疗器械经营；消毒器械销售；兽药经营；道路货物运输（不含危险货物）；生活美容服务；理发服务；燃气燃烧器具安装、维修。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）一般项目：企业总部管理；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；食品销售（仅销售预包装食品）；食用农产品批发；食用农产品零售；劳动保护用品销售；日用百货销售；化妆品批发；化妆品零售；美发饰品销售；个人卫生用品销售；厨具卫具及日用杂品批发；厨具卫具及日用杂品零售；服装服饰批发；服装服饰零售；服装辅料销售；针纺织品及原料销售；文具用品批发；文具用品零售；第一类医疗器械销售；第二类医疗器械销售；化工产品销售（不含许可类化工产品）；消毒剂销售（不含危险化学品）；皮革制品销售；钟表销售；珠宝首饰批发；珠宝首饰零售；工艺美术品及礼仪用品销售（象牙及其制品除外）；食品添加剂销售；金属材料销售；金属工具销售；仪器仪表销售；音响设备销售；畜牧渔业饲料销售；饲料添加剂销售；塑料制品销售；商业、饮食、服务专用设备销售；卫生用品和一次性使用医疗用品销售；特种劳动防护用品销售；专用化学产品销售（不含危险化学品）；日用化学产品销售；办公用品销售；家用电器销售；饲料原料销售；宠物食品及用品批发；电热食品加工设备销售；机械设备销售；五金产品批发；五金产品零售；电子测量仪器销售；电子产品销售；电气设备销售；互联网销售（除销售需要许可的商品）；货物进出口；技术进出口；进出口代理；国内贸易代理；离岸贸易经营；销售代理；贸易经纪；会议及展览服务；包装服务；机械设备租赁；充电控制设备租赁；日用产品修理；仪器仪表修理；家用电器安装服务；专业保洁、清洗、消毒服务；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；企业管理；品牌管理；医学研究和试验发展（除人体干细胞、基因诊断与治疗技术开发和应用）；健康咨询服务（不含诊疗服务）；物业管理；国内货物运输代理；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
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